在新能源汽车800V高压平台爆发元年,一家扎根苏州的半导体企业悄然完成技术突围——森晖半导体以独创的“超晶格缓冲层技术”实现6英寸碳化硅晶圆流片良率突破,车规级MOSFET模块通过行业认证,成为国产三代半导体供应链的“隐形冠军”。
一、垂直整合能力:三代半导体的全链条工艺掌控者
不同于传统Fabless模式,森晖半导体构建了从 衬底加工→外延生长→器件流片→模块封装 的全自主产线,攻克三大技术壁垒:
晶圆级应力控制
开发梯度温度场CVD外延设备,将4H-SiC外延层厚度不均匀性控制在±3%以内(行业平均±8%)
界面缺陷密度≤0.2/cm²,优于车规级标准2个数量级
车规芯片流片专线
配置日本DISCO激光划片机+德国SÜSS键合机,实现1200V SiC MOSFET晶圆流片单片成本降低37%
支持8英寸向下兼容设计,满足客户多尺寸工艺验证需求
特种封装工艺
银烧结+铜线键合技术,模块热阻较传统焊料降低60%
双面散热DCM封装通过ISO 16750振动测试,失效率<50ppm
二、车规级流片“黑科技”:破解行业四大痛点
行业难题 | 森晖解决方案 | 客户价值 |
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长晶微管缺陷导致良率低下 | 多物理场耦合PVT生长模型 | 衬底位错密度<200/cm² |
外延层厚度波动影响器件一致性 | 原位掺杂闭环控制系统 | 击穿电压偏差<5% |
栅氧界面可靠性不足 | 氮等离子体界面钝化工艺 | 阈值电压漂移<0.3V(@150℃) |
模块封装热失效 | 三维瞬态热仿真驱动封装设计 | 结温波动降低40% |
三、场景化服务能力:定义第三代半导体代工新范式
森晖首创 “流片工艺超市” 模式,为不同应用场景定制技术组合:
高压快充桩方案:1700V SiC SBD流片+直接液冷封装,模块功率密度提升至50kW/L
混动车型OBC模块:三相交错PFC拓扑优化设计,系统效率>98.5%
光伏储能一体机:智能分选系统实现Rds(on)离散度<3%,保障20年质保周期
四、生态赋能:构建国产替代的“技术共研圈”
森晖半导体正通过三大举措重构行业生态:
开放创新平台
提供PDK设计套件与TCAD仿真模型,支持客户48小时快速试流片
产教融合计划
与苏州大学共建“宽禁带半导体联合实验室”,定向培养工艺工程师
车规认证联盟
推动“零缺陷流片”认证体系,缩短车企导入周期6个月
在第三代半导体产业爆发的历史性机遇期,森晖半导体以“极致工艺+场景创新”双轮驱动,正成为国产车规芯片供应链的关键支点。当行业还在为良率爬坡焦灼时,森晖已悄然构筑起从实验室到量产车的技术护城河。